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石英晶片的外形加工包括兩個方面:
1、外形尺寸的加工,如圓形晶片、矩形晶片;
1、石英晶片外形加工
(1)圓形片外形加工
a、根據(jù)改圓直徑要求,將石英晶片排列成一定長度的迭片,
b、粘砣:將地臘(CnH2n+2)、松香(C19H29COOH)(比例:夏天1:1,冬天2:1),(地臘的軟化點(diǎn)為85℃)在120-180℃烘箱內(nèi)加熱溶化,將迭片放入120-180℃烘箱內(nèi)預(yù)熱10-15分鐘,取松臘劑澆在迭片上。
c、分籽晶:用專用分籽晶機(jī)由外刃鉆刀片切斷,冷卻液為皂化液:水=1:25。
d、改圓。當(dāng)φ≤14時,磨床轉(zhuǎn)速為450轉(zhuǎn)/分,首次進(jìn)給1-2mm,每次進(jìn)給0.2-0.5mm,所用鉆石磨輪為TR80#、TR150#。三個鉆石磨輪直徑相互相差0.08mm,最后在6S研磨機(jī)上磨外圓,外圓的光潔度應(yīng)與石英晶片大平面最后研磨的光潔度一致, 磨到直徑的要求:對需滾倒的石英片要留出滾倒時直徑變小的留量,對平面片的直徑應(yīng)符合設(shè)計規(guī)格表上的要求。
(2)矩形片外形加工
a、根據(jù)工藝要求,將片子排列成長度為25mm(兩邊放入厚2mm相應(yīng)玻璃片)。
b、粘砣:用折蠟?zāi)z在熱板上加熱自動吸附粘接而成,要求晶砣必須整齊,無氣泡。
c、切砣:以49S和SMD3225為例,49S晶片一次切割完成,SMD3225晶片先切寬度尺寸后,經(jīng)過精密研磨到規(guī)定寬度尺寸后,再用301厭氧膠粘接,再進(jìn)行二次切割長度方向,經(jīng)過精密研磨到規(guī)定尺寸后而完成。目前一般多采用多線切割方式完成,切割后留下加工余量為0.15mm,然后經(jīng)過GC3000#至WA4000#的精密研磨到規(guī)定尺寸。
2、石英晶片的質(zhì)量檢測
在石英晶片的整個生產(chǎn)過程中,都必須進(jìn)行嚴(yán)格的檢測,以保證產(chǎn)品能滿足各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)。石英晶片的檢測包括:晶片內(nèi)部缺陷、幾何尺寸、切角誤差、平行度、平面度、表面光潔度和頻率等。
3、石英晶片的質(zhì)量對石英晶體元件的影響
石英晶片質(zhì)量的優(yōu)劣對石英晶體元件的各項(xiàng)參數(shù)有很大影響:
(1)石英晶片含有缺陷(主要是雙晶和小部分較大的包裹體),會引起頻率不符,頻率溫度特性變差,活力下降;
(2)石英晶片表面光潔度不好,會引起頻率變化,老化率增大,活力下降和DLD不合格。石英晶片表面出現(xiàn)沙坑、砂痕、破邊、破角和裂紋等情況時,也會降低晶片的活力,DLD性能變差,特別是當(dāng)石英晶片厚度較薄時(高頻晶片),影響更顯著。
(3)石英晶片表面平行度、平面度差,會使電阻增大,電阻溫度特性變差,活力下降甚至停振,寄生振動增多。
(4)石英晶片的切角不對或誤差大,會造成石英晶體元件頻率溫度特性、零溫度系數(shù)點(diǎn)、頻率常數(shù)發(fā)生變化,進(jìn)而導(dǎo)致頻率不符。
(5)石英晶片的邊比不對,將會使寄生振動的耦合增強(qiáng),使頻率溫度特性曲線畸變。
(6)石英晶片的曲率半徑發(fā)生改變時,頻率溫度特性也會隨便之改變。當(dāng)曲率半徑變小時,最佳切角就越小,小平臺直徑減小時,切角要相應(yīng)的減??;平臺直徑越大,等效電阻增大;留邊量增大,則等效電阻增大。
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